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RTP LAMP HOUSING是利用蜂窩式鹵鎢燈，用最短的時

間高溫熱處理晶元的設備，應用于氧化工藝。RTP設備的

優點在于快速加熱及快速冷卻，節儉熱損消耗。



							
							

								

									
										固化擴散燈罩
									
									
										
固化擴散燈罩

									
								

							

								
							

								
    
					                 
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